干式真空泵是怎樣定義與分類的？

引導(dǎo)語(yǔ)：干式真空泵很早就呈現(xiàn)了,但沒有清晰的界說。就替代油封式機(jī)械泵來(lái)說,一般通用的說法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內(nèi)作業(yè);在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能運(yùn)用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能接連向大氣中排氣的泵, 即稱為干式真空泵(也稱為無(wú)油真空泵)。

干式真空泵的分類

現(xiàn)在市場(chǎng)上供給的干式泵品種許多。就其基本原理來(lái)分, 只要兩類, 即:

① 容積式的無(wú)油真空泵, 例如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1～10Pa, 抽速為0.01～ 0.04m 3?s。

② 動(dòng)量傳輸式的無(wú)油真空泵,如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相接, 在接連流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵, 可從大氣壓抽到1022Pa。在結(jié)構(gòu)上選用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級(jí)串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02～0.15m 3?s。牽引型干式泵也歸于動(dòng)量傳輸式的干式泵。

這些干式泵和油封式機(jī)械泵比較, 到達(dá)相同的極限壓力, 其剩余氣體成分則全然不同,經(jīng)剖析成果明, 油封泵的剩余氣體, CnHm 氣體(碳?xì)浠衔餁怏w)為其主要成分, 而干式泵的剩余氣體為空氣的組成成分。這就證明了干式泵的抽氣不再有油的污染了。

有些干式泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上, 如泵的傳動(dòng)齒輪和軸承等仍在運(yùn)用潤(rùn)滑油, 也有用組成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采納必定的辦法使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在, 嚴(yán)格來(lái)說不是全無(wú)油的泵, 但經(jīng)剖析, 這種組成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無(wú)影響。